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橢圓偏振測厚儀技術特點
點擊次數：644 更新時間：2022-02-28
圓形偏振測厚儀高技術新聞稿件

儀器介紹
TPY-1橢圓偏振測厚儀采用消光法手動調節，自動測量薄膜厚度和折射率，精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器，功率穩定、波長精度高。儀器軟件具有生成表、查表以及精確計算等功能，方便用戶使用。
規格參數
測量范圍薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10
測量厚度最小示值（nm）≤1
偏振器方位角范圍0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚精度（nm）±1
折射率重復性精度±0.01
入射角調節范圍20°～90°精度為0.05°
入射光波長（nm）632.8
光學中心高（mm）80
允許樣品尺寸（mm）φ10-φ140，厚度≤15
外形尺寸（mm）590*390*290
主機重量（kg）25

 

運行環境表



規格型號各稱占比
大體分配
TPY-1橢圓形偏振測厚儀臺式主機1臺
TPY-1主機箱電機控制箱1套

二硫化硅膜樣片1片
TPY-1圓弧偏振測厚儀專用型平臺1套
需另配統計機及復印機機1套



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