主要性能指標：
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔） 
旋涂程序：多存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒 
轉動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm 
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s 
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm 
轉速調節精度<1rpm，重復性< 1rpm 
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec 
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶） 
旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）


產品特性優點：
新的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。 
7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。 
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。 
標準配置轉速5000rpm，并可根據用戶需要進行定制。
采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。 
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，不生銹，便于清洗。 
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。 
透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發。


產品外型尺寸：
　　　　　613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)